NAKANISHI高速主轴案例分享—轴的内径打磨

      众所周知，半导体生产工艺复杂，光是生产半导体的机器设备上的零部件都有成千上万个，小编今天就带来其中一个零件的生产工艺—NAKANISHI高速主轴对轴的内径打磨。

                                                 用于半导体生产机器的轴

                                                 材质: SUJ2 (轴承钢）

                                                轴的孔内径：3.306±0.003

                    打磨工具要求：

                   高精度：精度要在6μm以内，如果主轴打磨时精度跳动很大，要保证在精度内的精密打磨需要时间。

            NAKANISHI高速主轴EMS-3060K刚好适合此类轴的打磨

          NAKANISHI高速主轴EMS-3060K在保证表面打磨效果前提下，转速可从50,000 min−1 提高到60,000 min−1。精度1 ㎛内, 能实现精密加工，并可延 具使用寿命.