轴承
NSK精密
圆柱滚子轴承
NSK精密圆柱滚子轴承，承受径向载荷的能力强，适用于振摆精度要求高以及转速快的领域。
1双列圆柱滚子轴承（高刚性系列）
采用新材料和新设计，可提高
机床的性能。
特点：青岛NSK精密机床轴承
实现了高速、低发热。实现了
润滑脂润滑的长寿命。采用高刚性
PPS树脂保持架，可因离心力而导致变形，实现高速稳定旋转。
2单列圆柱滚子轴承（标准系列）
这是以ISO为标准的NSK精密单列圆柱滚子轴承的基本系列。
特点：
采用长寿命
轴承钢（Z钢）为标准材料。采用高刚性型滚动体导向
铜合金保持架。
3单列圆柱滚子轴承（Robust系列）
采用高耐热性
PEEK保持架，主体使用耐热性与耐磨损性俱佳的SHX材料，实现了dmn220万的高转速。
特点：
采用设计，实现了低发热性。主体采用SHX材料，提高了抗咬粘性，而且，滚子采用
陶瓷材料，提高了可靠性。采用耐热性及高刚性PEEK树脂，实现了高速化。
精密滚珠丝杆支承用轴承
精密滚珠丝杆支承用高精度推力角接触球轴承，根据用途不同，采用 设计，分为高刚性系列和高载荷系列两类产品。适用于高精度进给机构。
1滚珠丝杆支承用推力角接触球轴承（机床高刚性用）
除带密封圈系列之外，还包括充实了产品阵容的高刚性、高功能 轴承系列。
特点：
以符合用途要求的高功能 设计，实现了高刚性和长寿命。采用高可靠性、防尘设计的带接触式密封圈型产品，也已形成系列化。提高了操作性。
2滚珠丝杆支承用推力角接触球轴承（电动
注塑机高载荷用）
这是符合设计简洁化及降低了成本的高功能设计轴承系列。
特点：
实现了高载荷容量和小型化。提高了可靠性，与标准角接触球轴承相比，实现了长寿命。采用球轴承的设计，实现了低转矩。
机床旋转轴 轴承
这是采用机床旋转轴 设计的角接触球轴承，是适用于多轴机高精度的系列产品。高精度窄幅角接触球轴承RobustSlim，实现了高刚性和低转矩。
辅助抽气系统：排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、
增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold组成。排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.*1-2
PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低
真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。机械泵的分类：机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。机械泵是从大气始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.*1-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*1-2帕，甚至更高。抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排体的体积，可以用下公式计算：Sth=2nVs=2nfsLfs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积大，转速为n。
